第二百一十六章 未来可期

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所以，这是个长远计划，没必要现在就一步到位的去做好。

只要自己实现了在关键零部件和关键技术节点上的突破，甚至是反超，那就有了更多制衡的筹码。

到时候，那就不是西方对国内技术封锁的事情，而是很可能会作茧自缚，有些反噬自身的尴尬了。

陈哲可不会去和西方国家玩什么“一个换一个”的套路，他会拉一批打一批，玩不残几个都算他输……

在这条0·18微米生产线还没有建成之前，他就在上个月，开启了在关键制程工艺材料应用上的革新，也就是当初和景如章提到过的，用铜金属代替铝金属作为导线材料。

这种革新，不但可以降低金属导线的电阻率，还可以提高讯号传播速度和降低功耗的成长。

至于因为铜离子的扩散系数高，更容易进入介电或硅材料中，导致电性飘移或制程腔体遭到污染，这个问题其实不难解决，那就是双镶嵌法。

也就是先蚀刻出金属导线所需的沟槽与洞，并沉积一层薄薄的阻挡层和衬垫层，之后再将铜回填，如此一来，就可以轻而易举的防止铜离子的扩散。

然后一步迈进半导体铜制程工艺的时代。

至于下一代的材料变革，也就是在10纳米甚至是7纳米节点上“钴”的突破，十几年内是不需要考虑的……

一个铜制程工艺不够的话，那还有另一个浸润式光刻技术呢。

更何况，随着科技研发中心这边在工业设备上不断的更新迭代，想要实现光刻机等尖端设备的国产自主化，还是不难的。

不管是双工作台技术、光源技术、镜头技术、复合材料、控制软件……对于陈哲来说，都不是问题。

有人会说，人家阿斯麦是在老美的支持下，完成了整合全球上下游产业链，才形成了自己的供应链管理。

比如德意志的蔡司光学设备，老美的光源系统、电源、工业软件、计量设备、东洋的复合材料、瑞典的精密机床等。

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