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往往，不同型号的抛光机，不同被抛光的物件，最适宜使用的抛光液是不同的。</p>
“你们用的是哪种抛光液？”顾律沉声问道。</p>
“呃……”黄师傅愣了一下，随口回答，“我们现在使用的纳米三氧化二铝粉末抛光液。”</p>
林经理一脸紧张的看向顾律，“顾先生，有什么问题吗？”</p>
有问题，问题大了！</p>
纳米三氧化二铝粉末当做磨料，加入Buehler Phoenix Bets型抛光机，进行单硅晶片的精密抛光，本身就是极为不智的一种举动。</p>
因为三氧化二铝这个东西，实在是太硬了啊！</p>
即便是纳米级别的三氧化二铝粉末，硬度也不会减少。在抛光过程中，肯定会对硅晶片造成损伤。</p>
另一方面，根据Preston公式，MRR=ρwNV。</p>
抛光磨料硬度越高，对应的切削深度越大，塑性磨削作用越弱。</p>
他想，他已经知道，为什么使用新设备抛光后的硅晶片，在精度方面一直达不到要求了。</p>
“抛光液用错了。”顾律眼神的平淡的看了张经理一眼，开口说道。</p>
“难道不是用三氧化二铝粉末抛光液吗，我之前在国营大厂里，一直都是用的这个。”说话的是黄师傅。</p>
顾律笑着开口解释，“对于那些精度不高的硅晶片，使用纳米三氧化二铝粉末当然没问题，因为制备简单，成本还低，但对于高精度抛光机，这种高硬度的抛光磨料，就明显不适用了。”</p>
“那顾先生，我们应该用哪种，当做纳米磨料？”张经理问。</p>
“二氧化铈。”顾律请吐出四个字。</p>
“二氧化铈？”张经理眉头皱起。</p>
“你们这没有这种抛光液？”顾律问。</p>
“呃……没有。”林经理老老实实的回答。</p>
老实说，这种抛光液，在国内都不常见。</p>
“那你们这瓶三氧化二铝抛光液，是从外面买过来的，还是自己制备的？”顾律接着问。</p>
林经理开口，“我们自己做的，我们有一条专门的生产线。”</p>
他们海跃公司，除了售卖一些半导体材料外，抛光液也是他们的产品之一，不过货量不大。</p>
除了自产自销的一些外，没多少流入市场上。</p>
顾律倒是不意外。</p>
抛光液这东西生产起来不复杂，搭建一条生产线很简单。</p>
“带我过去看看吧，我试试能不能制作出来二氧化铈抛光液。”顾律看向张经理，缓缓开口。</p>
张经理愣了一下，“您……亲自制作？”</p>
顾律耸耸肩，轻松的语气，“没必要那么大惊小乍，这东西没什么技术含量，只要材料有，稍微有点化学常识的人都会弄。”</p>
“走吧，带我去看看。”顾律挑挑眉。</p>
“那这边……”林经理指着快要结束抛光过程的设备，犹豫的开口。</p>
“不用再继续看了，反正结果肯定和你们之前得到的一样。没必要浪费时间。”</p>
“好吧，那顾先生，这边请。”</p>
抛光液生产线放在了工厂那栋五层小楼的顶楼。</p>
走进房间，可以看到两名员工在里面忙碌的工作着。</p>
顾律来到实验台，看了一眼桌上瓶瓶罐罐拜访的那一堆化学试剂，然后扫了一眼整个房间内的大致设备，淡淡笑了笑。</p>
“运气还不错，制备二氧化铈的材料和设备基本都有，接下来，交给我就好了。”</p>
………………</p>
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